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晶盛机电:已把握半导体级大直径硅单晶发展装备手艺
2014-08-20 09:06:19  来源:华夏经济网  作者:朱丽梅  分享:


08月20日讯
晶盛机电 (300316)昔日在深交所互动易平台暗示,作为国家科技严重专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》之“300mm硅单晶直拉发展装备的开拓”课题的TDR130A-ZJS全自动单晶硅发展炉产物的承当单元,公司已把握半导体级大直径硅单晶发展装备设想、制造的进步前辈手艺,并将持续贯穿连接国际全自动单晶硅发展炉手艺的抢先职位。
晶盛机电首要处置晶体发展装备及其掌握系统的研发、制造和发卖,主营产物有全自动单晶硅发展炉、多晶硅铸锭炉及单晶硅发展炉掌握系统。


 

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